2024年11月6日
近日，松山湖材料实验室第三代半导体团队与西安电子科技大学郝跃院士课题组张进成教授、李祥东教授团队，以及广东致能科技有限公司联合攻关，成功基于2~6英寸AlN单晶复合衬底制备了高性能GaN HEMTs晶圆。这一成果得益于AlN单晶复合衬底的低位错密度，使得AlGaN缓冲层厚度降至350 nm，外延成本大幅下降，同时有效控制晶圆翘曲。团队创新提出二次生长AlN埋层方法覆盖杂质层，显著抑制漏电，实验结果显示，所提出的350 nm无掺杂超薄AlGaN缓冲层的横向击穿电压突破10 kV，HEMTs器件关态耐压超8 kV，动态电流崩塌小于20%，阈值电压漂移小于10%，初步通过可靠性评估。这一全流程突破对于半导体行业具有重要意义，展示了国内在高性能半导体材料研发方面的进步。
合肥工业大学系统结构研究室边缘性缺陷测试研究团队近期在集成电路领域取得了新进展，提出了一种可用于6T SRAM（FinFET工艺）自热效应的表征方法，并通过基于FinFET的高性能FPGA平台进行了实验验证。随着集成电路技术的发展，3D晶体管结构和先进材料的使用增强了晶体管的自热效应，影响了晶体管的可靠性和电路的稳定性。该团队利用占空比和电路性能参数读延迟时间来实现6T SRAM的自热效应表征，并通过Hspice工具仿真分析了自热效应对6T SRAM不同状态的影响。研究结果表明，所提出的表征方法可用于0-84.5℃瞬态温度和0-48.8℃电路温度的表征温度范围，对电路可靠性研究具有重要意义。
青岛在机器人产业领域取得了显著进展，正逐渐成为该行业的新高地。北京加速进化科技有限公司研发的人形机器人在青岛第一海水浴场展示了其稳定的行走能力和灵活的反应，吸引了众多市民和游客的关注。青岛的人工智能产业园内，优必选科技青岛公司展示了其Walker X人形机器人，这款机器人具备高性能伺服关节和先进的感知系统，能够完成多种复杂任务。青岛高新区作为“国家机器人高新技术产业化基地”，已经集聚了200余家产业链优质企业，形成了智能制造产业集群。青岛宝佳智能装备股份有限公司等企业在工业机器人智能集成应用领域占据领先地位，市场占有率超过70%。此外，青岛还在医疗康复、农业等领域拓展了机器人的应用场景，推动了产业的集聚和链式招引。青岛正努力打造成为北方机器人产业高地，依托其在工业领域积累的产业基础和高校研究院所的关键技术进展，青岛的机器人产业发展前景广阔。
2024年服贸会上，全球首款搭载人工智能深度学习技术的骨科手术机器人ROPA成为焦点，吸引了国际客商的关注。由北京长木谷医疗科技股份有限公司研发的ROPA，通过人工智能技术，使得医生能够通过三维建模设计治疗方案，并由机器人精准辅助执行，极大提高了手术的精确性和安全性。ROPA的“脑”“眼”“手”精准配合系统，包括手术模拟软件、精准光学定位和智能随动技术，使得手术精度达到亚毫米级别。ROPA的诞生填补了全球在人工智能三维手术模拟在骨科机器人领域应用的技术空白，标志着人工智能在手术临床上的应用价值得到了进一步的发挥和认可。
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